ウェーハハンドリング・エンジニアリング

入手な困難な200mm等のウェーハハンドリング設備エンジニアリングをご提供
FINE PROTECは、アライナー付きハンド(300mm)、近年入手が困難な200mmや150mmサイズのウェーハハンドリング設備を豊富な知識を通じ、エンジニアリングをご提供致します。

・ アライナー付ハンド              ・ ノッチ合せ機(自/手動)   
  

・ 300mmバッチ式ウェーハエッジマクロ検査装置(ウェーハメーカー殿納入実績有ります)

・ エンジニアリング (部品設計)
こんな部品が欲しい等、お気軽にお問合せください
下記は事例。

t=2mmハンドにウェーハセンサーを組込み、センサー交換及びΘ5°
迄センサーアライメント調整可能とし、最大t=2.3mm(センサー部)で仕上げました